Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡產品介紹：

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡由GETec與Nanosurf提供,讓您能輕松地聯合兩種功能強大的分析工具，原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)，構造真實的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性，但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準確位置上。進而大大地擴展了您的相關顯微鏡測量與分析的可行性。

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡產品特點：

• 實時在您的真空環境中進行AFM分析

• 方便集成在SEM中進行相關AFM分析

• 兼容于大多數電鏡而不影響SEM正常操作

• 可適配真空腔室環境兼容大氣環境測量

• 操作簡便而直觀

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡產品優勢：

實時在您的電鏡中進行AFM分析

原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)的互為補充可以對您的樣品進行的表征成為可能。AFSEM可以讓您同時對您的樣品進行高分辨成像，構造真實的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性,但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準確位置上。優化的AFSEM工作流(不影響SEM正常運行)確保了高效的操作,而強大的控制軟件可以實現智能化的測量、系統操作與數據分析。

SEM-AFM相關性分析

對于產品或材料分析,我們總是期望利用多種技術來進行樣品分析，而且尋求參數之間的相關性,而像原子力顯微鏡(AFM)與掃描電鏡(SEM)這類成像技術，我們就希望在同一個準確的位置進行分析!

同步于AFM與SEM的多種其他分析技術工具

因為AFSEM設計保持了全部的SEM功能性，它就可以聯合其他的一些標準的SEM分析技術如FIB，FEBID與EDX等，樣品無需掃描，而且相對重的或定制的樣品臺，比如張力牽拉臺、納米壓痕臺等，都可以輕松地聯合在AFSEM中。

兼容于大多數電鏡而不影響SEM正常操作

AFSEM適配于大多數SEM或雙光束系統(SEM/FIB):它直接地安裝在系統腔室的門上,而不改變樣品臺自身。而且狹小的針尖掃描設計配合了自感應探針系統在電子柱的頂部與樣品之間只需要4.5 mm空間即可。所以AFSEM能兼容于大部分標準的與可選的樣品臺，而且幾乎可以處理能放進系統腔室的任何一個樣品。這種設計可以在電鏡中實現亞納米級別臺階高度的測量.

操作簡便而直觀

AFSEM提供了操作的靈活性與智能化定位,三軸粗定位臺移動探針進入或者離開SEM的視場中的位置并定位探針到感興趣的位置,SEM樣品臺橫向移動樣品為方便AFSEM與SEM測量:垂直方向上,AFM與可以與樣品一起移動,可以讓您安全地安全地上下移動樣品而不會撞壞AFM探針。通過一個訂制的適配板與電路密封件可以在SEM里實現AFSEM的安裝,AFSEM可以通過僅僅四個螺絲就可以安裝或拆下下來,整個過程可以不到五分鐘，可以快速與方便的集成或從系統中移除。探針都預安裝在一個標準的接口上，可以快速實現探針更換,因此大大節省了系統的down機時間。因為自感應探針技術與自動化探針定位調整,AFSEM系統馬上就可以開始進行操作.

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡部件與附件：

• AFSEM 測量頭

• AFSEM工具套裝（包含探針）

• 定位AFSEM測量頭用XYZ樣品臺+SEM定制適配板與密封間法蘭

• 控制器、高壓放大器、計算機（在一個控制柜里）+軟件

• AFSEM探針

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡常見測量模式：

Nanosurf AFSEM 真空環境用原子力顯微鏡圖：