產品詳情
KLA Profilm3D 光學輪廓儀
產品介紹：
KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術與相位干涉(PSI)技術。以較低的價格實現次納米級的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。
KLA光學輪廓儀特點優勢：
視場范圍：Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的視場范圍，同時其最大4倍光學變焦的功能滿足了不同應用時切換多個物鏡的需求。這些都進一步降低了采購需求成本。
100mm自動XY樣品臺：每臺Profilm3D光學輪廓儀都配備100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉臺和手動調平裝置作為標準配置。
性價比高：以較低的價格實現次納米級的表面形貌研究。
?非接觸式高精度測量?：垂直分辨率可達?亞納米級?（<1nm），適用于敏感材料（如軟質聚合物、生物樣本）的無損檢測。
?測量簡單：?Profilm3D光學輪廓儀軟件能直觀的反應包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量。在數秒內，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。
KLA光學輪廓儀測量原理：
KLA Profilm3D 光學輪廓儀采用白光作為光源，通過分光鏡將光束分為兩路：一路照射被測樣品表面，另一路投射至參考鏡表面，兩束反射光在CCD相機上形成干涉條紋。樣品表面的微小高度差導致光程差變化，通過分析干涉條紋的明暗分布及位置偏移，計算表面各點的相對高度，生成三維形貌數據。
主要應用：
臺階高度 | 紋理 |
外形 | 應力 |
薄膜厚度 | 缺陷檢測 |
產品參數：
厚度范圍（WLI） | 50nm-10mm | 厚度范圍(PSI) | 0-3µm |
RMS重復性(WLI）: | 1.0nm | RMS重復性(PSI）: | 0.1nm |
臺階高度準確度： | 0.7% | 臺階高度精確度： | 0.1% |
樣品反射率范圍： | 0.05%-100% | ISO25178兼容： | 是 |
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KLA Profilm3D 光學輪廓儀圖：
